一种晶圆缺陷检测设备及方法

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摘     要：本发明公开了一种晶圆缺陷检测设备及方法，属于半导体元件的检测领域。一种晶圆缺陷检测设备，包括检测基板，还包括：用于固定晶圆的支撑组件，所述支撑组件可翻转的安装于检测基板上；用于对晶圆表面进行清洁处理的喷气组件；用于向晶圆表面进行喷涂检测用材的涂覆组件，所述涂覆组件可移动的设置于支撑组件上方；本发明能够根据晶圆的尺寸进行吸盘数量的选择，吸盘和晶圆的接触摩擦较小，尽可能减少对晶圆损伤；能够使得晶圆上具有的凹陷缺陷的尺寸增大，从而可方便的被检测出来，从而进行及时有效检测出缺陷的发生，减少因此而造成的损失；通过气管对晶圆表面进行灰尘的清除，还能够实现化合物的涂覆和及时的表面清除。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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