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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202421973221.2 | 专利名称： | 晶圆移动夹持装置 |
| 申请日： | 2024-08-15 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/687分类检索 半导体专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本申请提供了一种晶圆移动夹持装置，用于夹持扩膜设备上的晶圆拉环，包括安装板；夹持机构，包括夹持臂，所述夹持臂的第一端可移动的连接在安装板上，所述夹持臂的第二端设有第一夹爪和第二夹爪；夹爪轴，所述夹爪轴沿所述夹持臂的长度方向延伸，与第一夹爪或者第二夹爪连接，驱动第一夹爪或第二夹爪远离或者靠近第二夹爪或第一夹爪；叉臂，所述叉臂与所述夹爪轴连接，叉臂设有沿预设方向延伸的凸轮槽，所述凸轮槽内设有凸轮，所述凸轮连接有销轴，销轴由第一气缸驱动转动，带动凸轮在凸轮槽内转动，所述叉臂响应于凸轮的转动进行摆动，当叉臂摆动时，第一夹爪和第二夹爪靠近或分离。本申请提供的晶圆移动夹持装置能够提升晶圆加工质量和效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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