晶圆移动夹持装置

著 录 项 目：

应用场景：集成电路生产线中的晶圆传输环节;避免薄脆硅片在跨工序转移时因应力集中导致的碎裂风险;配合真空吸附系统实现无损化取放操作

摘     要：本申请提供了一种晶圆移动夹持装置，用于夹持扩膜设备上的晶圆拉环，包括安装板；夹持机构，包括夹持臂，所述夹持臂的第一端可移动的连接在安装板上，所述夹持臂的第二端设有第一夹爪和第二夹爪；夹爪轴，所述夹爪轴沿所述夹持臂的长度方向延伸，与第一夹爪或者第二夹爪连接，驱动第一夹爪或第二夹爪远离或者靠近第二夹爪或第一夹爪；叉臂，所述叉臂与所述夹爪轴连接，叉臂设有沿预设方向延伸的凸轮槽，所述凸轮槽内设有凸轮，所述凸轮连接有销轴，销轴由第一气缸驱动转动，带动凸轮在凸轮槽内转动，所述叉臂响应于凸轮的转动进行摆动，当叉臂摆动时，第一夹爪和第二夹爪靠近或分离。本申请提供的晶圆移动夹持装置能够提升晶圆加工质量和效率。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2025/07/29	授权

• 申请号	专利名称	发布日期
  2011104240833	【发明】一种空调压缩机包装组件	2025/05/06
  2020223941301	【实用新型】一种气体样品存储装置	2025/08/05