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| 专利/申请号： | CN202120312618.7 | 专利名称： | 封闭式晶圆除尘机构 |
| 申请日： | 2021-02-03 | 申请/专利权人 | 上海安巧电子科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 上海市青浦区公园东路1155号科技孵化服务中心4010室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B5/02 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-11-26 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN214865768U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 24 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：封闭式晶圆除尘机构，涉及晶圆加工技术领域，能够达到较好的除尘和集尘效果。封闭式晶圆除尘机构中，密闭腔体的一侧壁通过舱门设有作为进出此密闭空间的通道；密闭腔体内设置有能够由通道伸出密闭腔体的托板组件，托板组件用于放置盛装有晶圆的料盒；密闭腔体内设置有能够做来回往复运动的除尘组件，除尘组件用于吹送洁净的离子风、并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射；密闭腔体连通有集尘管道，集尘管道能够进行抽风、并用于集尘；当托板组件带动装有晶圆的料盒运动至密闭腔体内指定位置后，控制器控制舱门关闭，除尘组件吹送洁净的离子风、用于去除微颗粒的静电吸附作用，并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射以对晶圆进行除尘。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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