实用新型已授权

封闭式晶圆除尘机构

Name: 封闭式晶圆除尘机构
Brand: 上海安巧电子科技有限公司
SKU: 2021203126187
Price: 2100.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202120312618.7 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2021-02-03

公开号

CN214865768U

公开日

2021-11-26

申请人

上海安巧电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , B08B13_00 , B08B15_00 , B08B15_02 , H05F3_04 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗设备除尘设备

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 芯片生产, 集成电路制造, 洁净室除尘

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摘要

封闭式晶圆除尘机构，涉及晶圆加工技术领域，能够达到较好的除尘和集尘效果。封闭式晶圆除尘机构中，密闭腔体的一侧壁通过舱门设有作为进出此密闭空间的通道；密闭腔体内设置有能够由通道伸出密闭腔体的托板组件，托板组件用于放置盛装有晶圆的料盒；密闭腔体内设置有能够做来回往复运动的除尘组件，除尘组件用于吹送洁净的离子风、并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射；密闭腔体连通有集尘管道，集尘管道能够进行抽风、并用于集尘；当托板组件带动装有晶圆的料盒运动至密闭腔体内指定位置后，控制器控制舱门关闭，除尘组件吹送洁净的离子风、用于去除微颗粒的静电吸附作用，并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射以对晶圆进行除尘。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN214865768U

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当前标价为 2100.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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