封闭式晶圆除尘机构

摘     要：封闭式晶圆除尘机构，涉及晶圆加工技术领域，能够达到较好的除尘和集尘效果。封闭式晶圆除尘机构中，密闭腔体的一侧壁通过舱门设有作为进出此密闭空间的通道；密闭腔体内设置有能够由通道伸出密闭腔体的托板组件，托板组件用于放置盛装有晶圆的料盒；密闭腔体内设置有能够做来回往复运动的除尘组件，除尘组件用于吹送洁净的离子风、并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射；密闭腔体连通有集尘管道，集尘管道能够进行抽风、并用于集尘；当托板组件带动装有晶圆的料盒运动至密闭腔体内指定位置后，控制器控制舱门关闭，除尘组件吹送洁净的离子风、用于去除微颗粒的静电吸附作用，并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射以对晶圆进行除尘。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注