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摘 要:本实用新型公开了一种半导体蚀刻设备,属于半导体蚀刻技术领域,包括用于容纳蚀刻液的蚀刻液罐体,所述蚀刻液罐体顶壁的两侧对称焊接有支架,其中一个支架上固定安装有电机,所述电机的输出轴穿过支架并同轴连接有螺杆,另一个支架的内侧固定焊接有滑杆,两个支架之间水平设有升降板,所述升降板的一端螺纹套设于螺杆上,另一端滑动套设于滑杆上,所述升降板的下方固定有置物板,其中所述置物板上方开设有多个沿竖直方向下陷的插槽,所述螺杆竖直设置于支架的内侧。该半导体蚀刻设备,由于置物板很好的利用了纵向的空间,使其可以一次性放入较多的半导体电路板,提高了蚀刻效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320435273.3 | 专利名称: | 一种半导体蚀刻设备 |
申请日: | 2023-03-08 | 申请/专利权人 | 东莞市海风电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省东莞市常平镇司马环保工业路5号厂房40栋403室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-08-25 | 转让价格: | 2500.0元 |
公开/公告号: | CN219591360U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |