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摘 要:本发明公开了一种复合纳米材料阵列气敏传感器及其制备方法,包括多孔硅阵列,多孔硅阵列包括硅板和若干个多孔硅片,各多孔硅片相互平行且底面均固定于硅板的上表面,多孔硅片的正反面均设有多个凹槽,各凹槽内均附着有由栗壳状ZnO纳米材料,栗壳状ZnO纳米材料上附着有WO3纳米材料;选择硅片做基底材料,能提高对气体的灵敏度,用氧化锌做催化剂,更加安全和环保;利用氢氟酸刻蚀硅片可以对硅片进行良好的清洗功能,使得硅片更加的干净和平滑;利用水热法产生栗壳状氧化锌纳米材料,可以方便有效的控制反应时间和晶体的生成情况,同时所得产品物相均匀、纯度高、结晶良好、产率高;利用电化学沉积法产生三氧化钨纳米材料,使得产生过程更加稳定。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210468268.2 | 专利名称: | 一种复合纳米材料阵列气敏传感器及其制备方法 |
申请日: | 2022-04-29 | 申请/专利权人 | 遵义师范学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 贵州省遵义市新蒲新区平安大道中段 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N27/12搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2024-09-10 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114778615B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |