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| 专利/申请号： | CN202421522498.3 | 专利名称： | 一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置 |
| 申请日： | 2024-07-01 | 申请/专利权人 | 潍坊明哲智能科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区玉清东街以北中心次干道以西高新大厦1211室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | F26B5/12 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-05-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222925859U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 30 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型提供一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置，涉及烘干装置技术领域，包括储存箱，储存箱的底端紧固连接有多组承重轴，储存箱的顶端紧固连接有加工箱，储存箱的内部底端紧固连接有两组限位板，通过设置的储存箱、清洗板、伸缩轴和电机配合下，将半导体晶圆卡合在清洗板的顶端，在使用电机可以带动伸缩轴进行升降作业，在伸缩轴升降的过程中，可以同步带动清洗板和半导体晶圆进行升降，当半导体晶圆和清洗板升降到预设的位置时，半导体晶圆可以完全浸泡在储存箱内部所储存的清洗液中，不需要施工人员手动对半导体晶圆进行调整，避免了在调整半导体晶圆的过程中，对半导体晶圆造成污染。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/05/30 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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