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| 专利/申请号： | CN202410997759.5 | 专利名称： | 一种晶圆测试装置及测试方法 |
| 申请日： | 2024-07-24 | 申请/专利权人 | 江苏斯塔科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省南京市秦淮区普天路1号5幢A1号楼4层425-1室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01R31/28 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-10-29 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN118858894A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 98 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本发明公开了一种晶圆测试装置及测试方法，属于晶圆测试技术领域。一种晶圆测试装置，包括支架，还包括：底部开口的外罩，固定连接在所述支架上，其中，所述外罩的内顶部固定安装有升降设备，所述升降设备的伸缩端固定安装有柱形内罩，所述内罩的开口朝下设置；圆周分布在所述内罩内的多个检测板，其中，所述检测板上安装有探针，其中一个所述检测板的探针朝下设置，所述内罩上设有驱动多个探针围绕内罩轴线公转的调节部，当所述内罩向上移动至极限位置时；本发明可以自动更换探针与检测板，防止同一组检测板与探针重复使用而出现明显发热与磨损，一方面可以提升检测板与探针的使用寿命，另一方面又能提升测试精度。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2025/07/04 | 授权 | |
| 2024/11/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01R 31/28 专利申请号: 202410997759.5 申请日: 2024.07.24 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2022227653798 | 【实用新型】SF6气体密度继电器低温校验装置 | 2025/11/03 |
| 2022225362092 | 【实用新型】一种直流输电阀厅直流耐压电气性能综合试验设备 | 2025/11/03 |
| 2021222038266 | 【实用新型】移动式大容量工频耐压装置 | 2025/11/03 |
| 2021221590517 | 【实用新型】一种工频磁控串联谐振高压试验装置 | 2025/11/03 |
| 2023229272761 | 【实用新型】一种排线测试电路 | 2025/10/31 |
| 2022110850990 | 【发明】一种红外发射管用检测方法及其检测装置 | 2025/10/30 |
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| 2018100411454 | 【发明】一种基于有源钳位反馈型的IGBT过流检测装置及方法 | 2025/10/29 |
