一种半导体基板清洗设备及其清洗方法

摘     要：本发明公开了一种半导体基板清洗设备及其清洗方法，包括控制柜体，所述控制柜体上安装有超声波清洗箱，所述超声波清洗箱上连接有三个固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有连接筒，所述连接筒上贯穿连接有气管。本发明中，采用超声波清洗箱、承载框、吸气框、出气通道、旋转珠和导向槽，在半导体基板进入超声波清洗箱内的清洗剂之前对其表面粘附的灰尘和颗粒杂物进行吹气清理，且多角度的吹气较为全面的覆盖在半导体基板表面及其缝隙中，灰尘和颗粒杂物随着气体被吸气框抽吸处理，避免灰尘颗粒杂物对清洗剂的影响，将有机物质与颗粒杂物和灰尘分别处理，保证清洗剂的使用寿命和半导体基板内缝隙处的清理效果。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注