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摘 要:本实用新型公开了一种晶圆检测仪器,包括晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器和晶圆,所述晶圆厚度测量仪由底座、平台、显示端和检测器组成。该实用新型,通过晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器、晶圆和连接板等结构部件,通过卡紧组件在空腔内部的使用,卡紧块能够移动至连接板的内部,从而使固定块与连接板固定,实现平台与底座的组装,通过移动组件与卡紧组件的配合使用,使卡紧块能够从连接板的内部移出,从而可以使底座与平台分离,具备对晶圆厚度测量仪进行快速拆装,省时省力的优点,该一种晶圆检测仪器,解决了现有晶圆厚度测量仪的平台与底座需要通过专用工具拧动多个螺栓实现拆装,不够快速,过于费时费力的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202321578754.6 | 专利名称: | 一种晶圆检测仪器 |
申请日: | 2023-06-20 | 申请/专利权人 | 徐州诺创通科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省徐州市泉山区科技大道科技大厦2层211-151房间 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B21/08搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2023-11-28 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN220104049U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |