一种晶圆密闭干燥装置

摘     要：本发明涉及晶圆干燥领域，具体是涉及一种晶圆密闭干燥装置，包括安装架和设置在安装架上的U形方管，U形方管内部设置有用于容纳同步带的U形容纳槽，水平板上设置有用于驱动同步带转动的调节机构，同步带上设置有多个对晶圆进行固定的固定机构，每组固定机构均包括固定环和同轴设置在固定环内的转动环，转动环内部沿轴线方向径向设置有多个卡爪，转动环一端沿轴线方向铰接有多个扇形叶片；U形方管上设置有用于向U形方管内部输送气体的送气机构，U形方管一端还设置有封堵机构；本申请能够使晶圆在相对密闭的环境下与往返晃动的清洗液接触，并通过送气机构对晶圆进行烘干，从而确保晶圆干燥效率，避免晶圆二次污染。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注