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摘 要:本发明公开了一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法,包括支架和可转动的传送带,传送带上设置有石墨舟,石墨舟内设置有硅片;支架滑动连接有第二活动板,第二活动板两端分别连接有激光发射器和激光接收器,激光发射器和激光接收器设置在石墨舟两侧;支架转动连接有第一丝杆,第一丝杆连接有第一电机,第一电机与支架固定连接,第一丝杆配合设置有第一丝母,第一丝母与第二活动板固定连接。本发明可检测石墨舟舟片有无变形、上料有无少片、翘片、下料有无翘片、掉片等异常,发现异常后及时人工干预处理或将硅片夹取,避免不良的产生,提高产线良品率,降低生产成本。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211043323.X | 专利名称: | 一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法 |
申请日: | 2022-08-29 | 申请/专利权人 | 王志远 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省安庆市宜秀区文苑路188号筑梦新区A5栋 |
专利状态: | 授权未缴费 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/66搜分类 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2022-11-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115332103A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |