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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202321716254.4 | 专利名称: | 一种硅片清洗干燥装置 |
申请日: | 2023-07-03 | 申请/专利权人 | 安徽领坤生物科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 安徽省滁州市天长市天长街道港口路 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B11/02分类检索 电子设备和元器件专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2023-12-15 | 转让价格: | 1900.0元 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN220177796U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本实用新型公开了一种硅片清洗干燥装置,包括箱体,所述箱体的内部设置有冲洗组件,所述箱体的顶部固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴的另一端固定连接有L型板,所述L型板的一侧固定连接有双向电动伸缩杆。本实用新型可实现对硅片的夹持处进行冲洗,当下方的夹持组件将硅片下方固定夹持后,可通过冲洗组件对硅片上方进行冲洗,并在硅片上方冲洗完成之后,可通过上方的夹持组件对硅片上方冲洗后的部位进行固定夹持,从而可解除对硅片下方的固定夹持,避免下方的夹持组件遮挡硅片,进而可对硅片下方的夹持处进行冲洗,避免了硅片的夹持处冲洗不到而有污染和杂质残留,进而提高了硅片的冲洗质量。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |