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摘 要:本实用新型公开了一种厂务气体供应系统及厂务系统。厂务气体供应系统包括:气体供应装置、缓冲装置和监控装置;气体供应装置的输出端与缓冲装置的输入端通过第一管路连接,缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备;缓冲装置与所述监控装置连接,监控装置用于采集缓冲装置的参数,并在参数超过预设值时发出报警信号。本实用新型解决了利用阀门调节气体流量不方便的问题,达到了不用调节阀门即可稳定气体,减小气体波动,避免机台当机的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120345984.2 | 专利名称: | 一种厂务气体供应系统及厂务系统 |
申请日: | 2021-02-05 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F17D1/02搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2022-02-25 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN215908866U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |