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| 专利/申请号： | CN202021708320.X | 专利名称： | 输气管道及制程废气处理系统 |
| 申请日： | 2020-08-14 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | F16L9/14 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-05-14 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213206813U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 94 | 所属领域： | 半导体 废气处理系统专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型提供一种输气管道及制程废气处理系统，涉及半导体制程废气处理领域。本实用新型通过在管道本体的管道内壁上涂覆保护膜层，形成新型的用于输送制程设备所产生的制程废气的输气管道，使制程废气在该输气管道内传输的过程中仅与表面光滑的保护膜层接触，确保废气输送导流平滑，不产生气体凝滞，降低制程废气在管道内的留存率，避免制程废气对管道本体造成影响，延长管道使用寿命。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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