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摘 要:本实用新型涉及一种真空传输阀门门板的升降装置,该升降装置包括机架、升降部和固定部;机架能够与机台固定;固定部包括固定板和固定杆,固定板设有与固定杆对应的固定孔,固定杆的底部设有第一螺纹段,第一螺纹段能够穿过固定孔并与设于门板顶端的第一螺孔配合固定,固定杆顶端设有限位件,限位件能够与固定板的上端面抵接;升降部设于机架,并能够作用于固定板使其带动固定杆相对于机架上升或下降,固定杆的数量为至少两个并布置于升降部的两侧。在对等离子体刻蚀机台进行保养时,通过该升降装置拆装真空传输阀门的门板,能够使得门板能够平稳地升降,以顺利实现拆装,避免门板发生卡滞甚至损坏的情况。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120501952.7 | 专利名称: | 一种真空传输阀门门板的升降装置 |
申请日: | 2021-03-09 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F16K31/60搜分类 阀门搜索 |
公开/公告日: | 2022-02-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN215763578U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |