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摘 要:本发明涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置,其包括提升机构;提升机构包括驱动件、转动件和滑动件,滑动件能够与静电吸盘固定,转动件能够放置于机台,转动件设有倾斜面,驱动件能够驱动转动件转动并使滑动件相对沿倾斜面向上滑动,以带动静电吸盘向上移动并与机台脱离。该拆装装置能够稳定地拆装静电吸盘,避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110286373.X | 专利名称: | 一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置 |
申请日: | 2021-03-17 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23P19/00搜分类 计算机硬件搜索 |
公开/公告日: | 2022-12-30 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113042991B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |