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| 专利/申请号： | CN202110286373.X | 专利名称： | 一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置 |
| 申请日： | 2021-03-17 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | B23P19/00分类检索 计算机硬件专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2022-12-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN113042991B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其包括提升机构；提升机构包括驱动件、转动件和滑动件，滑动件能够与静电吸盘固定，转动件能够放置于机台，转动件设有倾斜面，驱动件能够驱动转动件转动并使滑动件相对沿倾斜面向上滑动，以带动静电吸盘向上移动并与机台脱离。该拆装装置能够稳定地拆装静电吸盘，避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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