发明专利已授权

一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置

📄 申请号：CN202110286373.X 📄 发布日：2025/10/30

著录项目信息

申请日

2021-03-17

公开号

CN113042991B

公开日

2022-12-30

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23P19_00

IPC 分类号

B23P19_00

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备静电吸盘工装夹具

应用场景

半导体刻蚀, 晶圆制造, 半导体设备维护, 静电吸盘更换, 刻蚀机台检修

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摘要

本发明涉及一种半导体刻蚀机台的静电吸盘的拆装装置，其包括提升机构；提升机构包括驱动件、转动件和滑动件，滑动件能够与静电吸盘固定，转动件能够放置于机台，转动件设有倾斜面，驱动件能够驱动转动件转动并使滑动件相对沿倾斜面向上滑动，以带动静电吸盘向上移动并与机台脱离。该拆装装置能够稳定地拆装静电吸盘，避免静电吸盘滑落并可保证拆装效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221230

✅ 授权

20210716

?? 实质审查的生效：

20210629

📄 公开

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