发明专利已授权

一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法

📄 申请号：CN202010722645.1 📄 发布日：2025/10/30

著录项目信息

申请日

2020-07-24

公开号

CN113970370B

公开日

2024-02-02

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01H17_00

IPC 分类号

G01H17_00

技术画像

所属领域

监测系统振动监测状态监测研磨机械监测系统

应用场景

工业自动化, 智能制造, 精密加工, 设备预测性维护, 研磨工艺监控

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摘要

本申请公开了一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法，其中，所述研磨平台的振动检测系统在皮带的传送面两侧分别设置第一监测模块和第二监测模块，并利用第一监测模块向所述皮带的传送面发送监测信号，利用所述第二监测模块接收除被所述皮带遮挡的监测信号外剩余的监测信号，并根据接收到的监测信号监测所述皮带的异常状态，实现对研磨平台的工作状态的监测，为判断研磨平台的工作状态是否异常奠定了基础，解决了现有技术中由于皮带的异常振动而导致研磨平台对晶圆的异常研磨的问题，避免了因此问题而导致的晶圆破损或晶圆制程不良。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240202

✅ 授权

20220215

?? 实质审查的生效：

20220125

📄 公开

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