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摘 要:本发明涉及硅片检测技术领域,公开了硅抛光片或外延片层错及位错缺陷的无损检测装置,包括筒体,筒体通过三个隔板对称设有三个放置区,且三个隔板呈均匀分布设置,三个隔板相背离一侧的侧壁均与筒体的内壁固定连接设置,筒体内壁的中心处固定连接有圆筒,且圆筒的侧壁分别与三个隔板的侧壁固定连接设置,圆筒内还设有放料机构,筒体的底部对称固定连接有四个支撑脚,放料机构包括放置盒、套筒和活动杆,放置盒的底部开设有多个通孔,套筒位于圆筒内设置,圆筒的内壁对称开设有三个凹槽。本发明能够便于对硅片与各个溶液进行反应,同时提高了反应的效果,提高了工作效率,便于人们的使用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910445171.8 | 专利名称: | 硅抛光片或外延片层错及位错缺陷的无损检测装置及方法 |
申请日: | 2019-05-27 | 申请/专利权人 | 大连百斯光电科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 辽宁省大连市经济技术开发区双D2街75-2栋-4-4号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N31/00搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-04-12 | 转让价格: | 13000.0元 |
公开/公告号: | CN110161173B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |