发明专利 已授权

一种晶体管高效检测方法

📄 申请号:CN201810659472.6 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2018-06-25
公开号
CN109001265B
公开日
2020-07-10
申请人
安庆市晶科电子有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体测试, 芯片制造, 电子元器件检测

摘要

本发明提出的一种晶体管高效检测方法,包括以下步骤:S1、在测试容器里面设置多个用于放置待检测晶体管的测试工位,测试容器内对应每一个测试工位运动安装有一个密封罩;S2、将多个待检测晶体管分布到测试容器内的多个测试工位上,各密封罩均调整到第二状态,然后密封测试容器并对测试容器内部抽真空至预设的第一负压状态;S3、向测试容器内填充酒精气体,直至测试容器内的压强达到预设的第一压强阈值。S6、选择一个测试工位作为当前测试位,驱动当前测试位上的密封罩调整到第二状态并持续第一时间值,然后检测测试容器内当前的酒精浓度并记为第二浓度值。本发明在批量检测提高检测效率的情况下保证晶体管的检测精确度。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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