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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202210964887.0 | 专利名称： | 一种晶圆加工用清洗装置 |
| 申请日： | 2022-08-11 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B1/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 90 | 所属领域： | 芯片 半导体 集成电路专利转让搜索 |
摘 要：本发明涉及一种晶圆加工用清洗装置,所述晶圆加工用清洗装置包括：底座以及固定安装在所述底座上的固定板，所述固定板上固定有横板，所述横板上固定有用于输送晶圆的导料管，所述底座上设置有用于引导所述导料管内晶圆下料的下料机构；所述下料机构上固定有转盘，所述转盘上开设有呈圆周等距设置的通槽，所述通槽内设置有用于承接晶圆的承接板，所述底座上设置有用于驱动所述承接板摆动的限位机构，所述转盘上还设置有与所述限位机构连接的承接机构，所述横板上转动安装有两组刷头，所述底座上设置有用于驱动所述刷头转动的驱动机构，所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接的主动轮，所述驱动机构通过所述主动轮驱动所述下料机构间歇运动。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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