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摘 要:本发明涉及一种晶圆加工用清洗装置,所述晶圆加工用清洗装置包括:底座以及固定安装在所述底座上的固定板,所述固定板上固定有横板,所述横板上固定有用于输送晶圆的导料管,所述底座上设置有用于引导所述导料管内晶圆下料的下料机构;所述下料机构上固定有转盘,所述转盘上开设有呈圆周等距设置的通槽,所述通槽内设置有用于承接晶圆的承接板,所述底座上设置有用于驱动所述承接板摆动的限位机构,所述转盘上还设置有与所述限位机构连接的承接机构,所述横板上转动安装有两组刷头,所述底座上设置有用于驱动所述刷头转动的驱动机构,所述驱动机构上固定有与所述下料机构连接的主动轮,所述驱动机构通过所述主动轮驱动所述下料机构间歇运动。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210964887.0 | 专利名称: | 一种晶圆加工用清洗装置 |
申请日: | 2022-08-11 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B1/00搜分类 芯片 半导体 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |