一种半导体腔室的进排气结构

摘     要：本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种半导体腔室的进排气结构，包括腔室、冷却机构、过滤机构、出气口，所述腔室上设置有冷却机构，所述腔室上固定连接有支撑块，所述支撑块上通过螺纹连接有螺钉，所述腔室的上端设置有进气管，所述进气管上设置有扩气口，所述出气口与腔室相通。本实用新型通过设计循环器、进水管、冷凝管等，通过循环器使得冷凝液在冷凝管中循环流动，从而对气体内的气体进行降温，通过设计密封套、过滤网、定位槽，使得腔室内气体通过时，可以对气体内的颗粒物进行过滤，从而对气体进行清洁。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注