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| 专利/申请号： | CN202222360027.4 | 专利名称： | 一种半导体腔室的进排气结构 |
| 申请日： | 2022-09-06 | 申请/专利权人 | 昆山富鑫铨精密机械有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省苏州市昆山市千灯镇西纬路29号4号房 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01D46/10 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-04-25 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218901179U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 65 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种半导体腔室的进排气结构，包括腔室、冷却机构、过滤机构、出气口，所述腔室上设置有冷却机构，所述腔室上固定连接有支撑块，所述支撑块上通过螺纹连接有螺钉，所述腔室的上端设置有进气管，所述进气管上设置有扩气口，所述出气口与腔室相通。本实用新型通过设计循环器、进水管、冷凝管等，通过循环器使得冷凝液在冷凝管中循环流动，从而对气体内的气体进行降温，通过设计密封套、过滤网、定位槽，使得腔室内气体通过时，可以对气体内的颗粒物进行过滤，从而对气体进行清洁。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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