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摘 要:本实用新型涉及切割设备技术领域,尤其涉及一种精度高的半导体晶圆切割设备。所述精度高的半导体晶圆切割设备包括壳体,所述壳体内部的一侧架设有活动连接的激光器;转动组件,所述转动组件设置在壳体内部,所述转动组件包括转动电机和支撑座,所述转动电机的底部与壳体的内底部固定连接,所述转动电机的输出端设有固定连接的转盘,且所述转盘的顶部设有若干均匀分布的放置盘。本实用新型提供的精度高的半导体晶圆切割设备,后期在使用过程中,可在激光器进行切割的过程中,对已切割完成的晶圆进行下料拿取,并顺利的进行下一批次所需切割的晶圆进行放置,即可顺利的进行不停机循环工作,进而提高本装置后期的工作效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323353101.0 | 专利名称: | 一种精度高的半导体晶圆切割设备 |
申请日: | 2023-12-11 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23K26/38搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 1800.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |