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摘 要:本实用新型公开了一种半导体制备用控制柜,涉及半导体制备技术领域。本实用新型包括柜体,所述柜体的左面固定连接有中和罐,所述中和罐内壁的下侧固定连接有分隔架,所述分隔架内壁的下侧开设有多个通口,多个所述通口的内壁均固定连接有多孔沸石板,所述中和罐顶面左侧的后方固定连接有加料斗,所述加料斗的下端延伸至分隔架的内壁,所述中和罐顶面左侧的前方固定连接有气管,所述柜体内壁左侧的上方固定连接有固定壳,所述气管的右端延伸至柜体的内壁并与固定壳的左面固定连接。本实用新型在使用的过程中,在保证其正常的散热效果的同时,还能够防止腐蚀性气体对电气元件的损害,提高了设备的使用寿命。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202420058043.4 | 专利名称: | 一种半导体制备用控制柜 |
申请日: | 2024-01-10 | 申请/专利权人 | 华科四维(北京)工程咨询有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 北京市朝阳区曙光西里甲1号12层A-1501 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H05K7/20搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-11-08 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221979387U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/11/08 | 授权 |