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本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法，属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤，基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1；基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法，通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构，并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数，操作简单，可以实时进行测量，为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据，测量结果真实可靠。

本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的检测平台，属于检测平台技术领域。其主要针对基于原子力显微镜的检测平台上的原子力显微镜为精密部件，缺少防尘保护装置，每次检测完毕后都需要将原子力显微镜装箱以防尘保存，操作较为不便的问题，提出如下技术方案：包括检测台面和原子力显微镜，所述检测台面的上表面开设有收纳槽，所述收纳槽内放置有底板，所述底板为正方体结构，所述底板的四个边缘面均转动连接有一个防尘罩板，四个所述防尘罩板的顶端可以合并，以将原子力显微镜包围在里侧进行保护。本实用新型具有快速对原子力显微镜进行防尘储存的作用，且可快速便捷地转移原子力显微镜，主要应用于对检测结束后的原子力显微镜的处理。

本发明提供了一种原子力显微测试系统及其样品台，所述样品台包括透明本体及设于透明本体上的夹具，透明本体具有一椭球面，样品台还包括一反射层，反射层覆盖于椭球面的表面，透明本体的一侧面设有激光入射点，透明本体的顶面设有检测点，椭球面的长轴的两个焦点分别与激光入射点、检测点重合，从激光入射点入射的激光被反射层反射后从检测点出射。本发明提供的样品台通过在透明本体上设置一椭球面，在椭球面上覆盖反射层，椭球面的长轴的两个焦点分别与位于透明本体的一侧面上的激光入射点、位于透明本体的顶面的检测点重合，使得从激光入射点入射的激光均可以从检测点出射，从而能够对入射激光进行精确对准，实现激光位置可控可调。