一种碳化硅外延设备的CVD反应模块

摘     要：本实用新型公开了一种碳化硅外延设备的CVD反应模块，包括反应箱，所述反应箱的内部设置有放置盘，通过所述放置盘用于放置晶元，所述反应箱的上端面设置有进气管，所述反应箱的右侧面设置有冷风机，所述冷风机的输出端固定安装有导流管，所述导流管上设置有排风管，所述排风管的出口延伸至反应箱的内部，所述反应箱上设置有排放管。本实用新型在使用的过程中，通过在CVD反应箱上设置冷风机，利用冷风机将冷气通入到反应箱中，通过冷气对工件冷却，提高工件冷却的效率，并且吹出的冷气带动废气通过排放管快速地排出反应箱外，通过在排放管的尾部设置废气处理组件，从而有效地去除废气中的有害物质，避免CVD反应箱排放的废气造成空气污染。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2024/09/10	授权