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摘 要:本实用新型公开了一种氧化亚硅的气化沉积装置,包括真空室、第—材料托盘、第二材料托盘、析出基体、反应管、加热源、轴,反应管位于真空室内,加热源位于真空室内,轴的至少一部分位于反应管内,第—材料托盘、第二材料托盘以及析出基体分别安装在轴上,所述第—材料托盘、第二材料托盘分别呈弓形,第—材料托盘和第二材料托盘错位安装。本实用新型能够提升氧化亚硅的品质。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022225348.4 | 专利名称: | 氧化亚硅的气化沉积装置 |
申请日: | 2020-10-08 | 申请/专利权人 | 孚林(常州)新材料科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省常州市新北区信息大道6号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C01B33/113搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-27 | 转让价格: | 1590.0元 |
公开/公告号: | CN214059925U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |