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摘 要:本实用新型涉及晶圆检测装置,公开了一种晶圆检测用除尘装置,其技术方案要点是包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆,若干支撑杆围绕放置槽设置,若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环,吹尘枪连接在承托圆环上,吹尘枪的喷嘴朝向放置槽内,吹尘枪的进气端套设有进气软管,进气软管远离吹尘枪的一端连通有高压存气罐,进气软管的管身上连接有第一通气阀。本实用新型具有能够对晶圆表面粘附的异物进行清理的优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201920881895.2 | 专利名称: | 一种晶圆检测用除尘装置 |
申请日: | 2019-06-12 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 除尘搜索 |
公开/公告日: | 2019-12-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN209843674U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |