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| 专利/申请号： | CN201920881147.4 | 专利名称： | 一种晶圆检测用除尘过滤装置 |
| 申请日： | 2019-06-12 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01D46/30 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-03-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN210171068U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 15 | 所属领域： | 除尘专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型涉及晶圆检测，公开了一种晶圆检测用除尘过滤装置，其技术方案要点是包括高压存储罐，高压存储罐上接通有输送管道，输送管道上连接有空气净化箱，空气净化箱上连接有通气管，通气管与输送管道位于空气净化箱相对的两侧壁上，通气管上连接有吹尘枪，空气净化箱内设有空气过滤棉，空气过滤棉垂直于通气管与输送管道之间的连线。本实用新型具有能够对输送管道和高压存储罐内的异物进行过滤，减少喷向晶圆的高速气流中的异物，在对晶圆表面的异物进行清理时，降低高压气流中的异物对晶圆造成影响的优点。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/03/24 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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