发明专利已授权

一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法

📄 申请号：CN202011171694.7 📄 发布日：2026/07/10

著录项目信息

申请日

2020-10-28

公开号

CN112467025B

公开日

2024-04-23

申请人

淮阴工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10N50_01

IPC 分类号

H10N50_01

技术画像

所属领域

铁电薄膜铁电材料薄膜材料纳米加工技术铁电薄膜

应用场景

铁电存储器, 非易失性存储器, 微纳电子器件, 压电传感器, 微机电系统

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摘要

本发明公开了一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法，属于微纳结构技术领域，通过脉冲激光沉积技术生长铁酸铋薄膜，低氧压的生长条件保证了薄膜中含有缺陷，利用的电场，是在压电力显微镜的针尖上施加偏压产生的针尖电场；薄膜中的面外、面内极化在针尖电场作用下同时翻转、重新定向，形成纳米尺度的高密度周期性条带畴；构建的条带畴具有良好的稳定性，可用于高密度铁电随机存取存储器。本发明使用的制备方法，脉冲激光沉积技术成熟，基于扫描探针显微镜的矢量压电力显微技术操作简单，具备很好的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240423

✅ 授权

20210326

?? 实质审查的生效：

20210309

📄 公开

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