实用新型已授权

一种传送装置的干法刻蚀机

📄 申请号：CN202323557441.5 📄 发布日：2025/09/19

著录项目信息

申请日

2023-12-26

申请人

李明辉

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D53_78

IPC 分类号

技术画像

所属领域

半导体刻蚀设备半导体刻蚀设备干法刻蚀工艺晶圆传输技术

应用场景

集成电路制造, 半导体晶圆加工, 平板显示制造, 微机电系统加工, 太阳能电池制造

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摘要

本实用新型提供一种传送装置的干法刻蚀机。所述传送装置的干法刻蚀机包括：干法刻蚀机本体，所述干法刻蚀机本体包括排气管；安装板，所述安装板设置在所述干法刻蚀机本体的一侧外壁上，所述安装板上设置有过滤箱，所述过滤箱内设置有过滤器，所述安装板上设置有吸附箱，所述吸附箱内设置有吸附器，所述安装板上设置有反应箱；两个风机，两个所述风机分别设置在所述吸附箱内和所述吸附箱的一侧外壁上，两个所述风机的进风端上均设置有连接管。本实用新型提供的传送装置的干法刻蚀机可以对使用过程中产生的废气进行多重步骤处理，有效的提高废气处理的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种侧抽芯结构的注塑模具

当前第 / 件

一种大气污染治理用烟气调质机械设备

同领域国内专利 · IPC: (B01D53_78)

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