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| 专利/申请号： | CN202323557441.5 | 专利名称： | 一种传送装置的干法刻蚀机 |
| 申请日： | 2023-12-26 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01D53/78 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 14 | 所属领域： | 半导体制造设备 微纳加工技术 精密机械工程专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线中的晶圆传输与处理;先进封装工艺中的材料去除;化合物半导体器件制造;MEMS传感器生产中的结构成型
摘 要：本实用新型提供一种传送装置的干法刻蚀机。所述传送装置的干法刻蚀机包括：干法刻蚀机本体，所述干法刻蚀机本体包括排气管；安装板，所述安装板设置在所述干法刻蚀机本体的一侧外壁上，所述安装板上设置有过滤箱，所述过滤箱内设置有过滤器，所述安装板上设置有吸附箱，所述吸附箱内设置有吸附器，所述安装板上设置有反应箱；两个风机，两个所述风机分别设置在所述吸附箱内和所述吸附箱的一侧外壁上，两个所述风机的进风端上均设置有连接管。本实用新型提供的传送装置的干法刻蚀机可以对使用过程中产生的废气进行多重步骤处理，有效的提高废气处理的效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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