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摘 要:本实用新型公开了一种用于探针机的晶圆承载台,包括台体,所述台体上端面中间位置开设有圆槽,所述台体上端面以顶块为中心阵列开设有至少六个限位槽,所述限位槽内均滑动连接有滑动块,所述滑动块上端穿出限位槽的位置固定连接有限位块,台体内部远离圆槽的一侧靠近限位槽的位置均开设有安装腔,所述安装腔和限位槽之间均开设有连接孔,所述安装腔内安装有用于调整滑动块位置的调整组件;本实用新型通过设置的调整组件,可在使用时对滑动块和限位块的位置进行同步调整,进而避免了会出现限位块的调整不一致导致的中心位置偏离的情况。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202220957549.X | 专利名称: | 一种用于探针机的晶圆承载台 |
申请日: | 2022-04-25 | 申请/专利权人 | 苏州聚万昌精密工业有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市相城区太平街道金裕路3号第3幢厂房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R1/04搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2022-09-06 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN217385592U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |