发明专利已授权

一种可抗高电压的薄膜压力传感器及其制备方法

📄 申请号：CN201910238516.2 📄 发布日：2025/09/22

著录项目信息

申请日

2019-03-27

公开号

CN110108397B

公开日

2021-05-11

申请人

重庆城市管理职业学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_22

IPC 分类号

G01L1_22

技术画像

所属领域

薄膜压力传感器薄膜压力传感器传感器制备工艺高电压防护技术

应用场景

工业自动化, 电力设备监测, 智能电网, 汽车电子, 机器人触觉感知

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摘要

本发明公开了一种可抗高电压的薄膜压力传感器及其制备方法，包括基底、苯乙酮改性SiO2薄膜绝缘层、应变电阻层和引线膜，绝缘层设置在基底上，应变电阻层设置在绝缘层上，引线膜设置在应变电阻层上，苯乙酮改性SiO2薄膜的厚度为0.6‑0.8mm，苯乙酮改性SiO2薄膜与基底的结合力为30‑50mN，制备方法包括以下步骤，提供基底，脉冲激光沉积法在基底上沉积苯乙酮改性SiO2薄膜绝缘层；在绝缘层上制作第一光刻胶，以第一光刻胶为掩模，采用多元素靶材通过脉冲激光沉积法在绝缘层上沉积应变电阻层；通过脉冲激光沉积法在应变电阻层上沉积引线膜。本发明能够能够克服现有技术中的薄膜压力传感器在受到高电压时，容易给电流击穿，抗交流能力较低的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于石墨烯的柔性电容式压力传感器及其制备方法

当前第 / 件

一种机架式加强型工业以太网交换机

同领域国内专利 · IPC: (G01L1_22)

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