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摘 要:本实用新型涉及晶圆清洗技术领域,尤其为一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构,包括机箱、清洗外壳和晶圆清洗台,机箱上端固定连接有清洗外壳,清洗外壳内侧设有晶圆清洗台,清洗外壳侧面设有喷水头,喷水头与循环泵出水口固定连接,清洗外壳前侧转动连接有门板,门板内侧固定连接有观察玻璃,观察玻璃与橡胶刮板紧贴,橡胶刮板一端与导轨连接,本实用新型中,橡胶刮板在上下移动的过程中,可以对观察玻璃内表面进行清洁,这样便于工作人员通过观察玻璃对清洗外壳内部的清洗情况进行观察,同时在清洁完成后,在打开门板时,海绵垫可以将门板底端凝聚成水滴的水分刮落,进而可以避免门板打开口,门板底部有水滴滴落的问题出现。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322723127.3 | 专利名称: | 一种单片式晶圆清洗装置的清洗机构 |
申请日: | 2023-10-11 | 申请/专利权人 | 湖北省嘉创半导体有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 湖北省咸宁市嘉鱼县鱼岳镇东湖学院对面(自主申报) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/02搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-07-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221361450U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/07/19 | 授权 |