咨询电话：13280638997
传真：0533-3110363
邮箱：kefu@shizifang.com
24小时咨询热线13280638997
24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202122122641.2 | 专利名称： | 半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置 |
| 申请日： | 2021-09-03 | 申请/专利权人 | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科创园10号楼103室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01D46/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-01-28 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN215654289U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 16 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了半导体晶圆代加工行业的氦气回收装置，涉及晶圆加工技术领域，针对背景技术提出的晶圆烘干装置缺少对氦气的回收净化装置，会造成氦气的浪费，增大了生产成本问题，现提出以下方案，包括烘干装置本体和净化箱体，烘干装置本体的顶部一侧开设有排气孔，净化箱体的内部顶端一侧安装有抽气泵，抽气泵的抽气端连接有抽气管，抽气管的一端贯穿至净化箱体的外部且连接在烘干装置本体上的排气孔处。本实用新型中，利用第一分离过滤器和第二分离过滤器的双重净化作用，提高了氦气的提纯效率，有效的节省了时间成本，提纯后的氦气可再次使用，从而降低了晶圆的生产成本，且方便对第一分离过滤器和第二分离过滤器拆卸保养。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2021216219368 | 【实用新型】一种两级活性炭吸附装置sxy | 2025/09/18 |
| 2024201181107 | 【实用新型】余热复用型印刷烘干装置 | 2025/09/17 |
| 2021217400257 | 【实用新型】一种空压机进气口过滤消音结构 | 2025/09/17 |
| 2021218017873 | 【实用新型】一种适用于空压机空气滤芯的清理器 | 2025/09/17 |
| 2021218253560 | 【实用新型】一种应用于空压机的空气滤芯装置 | 2025/09/17 |
| 2021218933367 | 【实用新型】一种用于空压机的气水分离装置 | 2025/09/17 |
| 2023223472834 | 【实用新型】一种大气治理用除尘装置 | 2025/09/17 |
| 2023220700241 | 【实用新型】一种用于空气净化的风机箱初效过滤器 | 2025/09/17 |
| 2023200721692 | 【实用新型】一种具有环保集尘结构的布袋除尘器 | 2025/09/17 |
| 202321116369X | 【实用新型】一种脉冲除尘器的防堵装置 | 2025/09/17 |
