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摘 要:本发明公开了一种微细电极端面自动磨平装置和方法,属于微细加工领域,包括龙门架、底座、z轴高速/微动电移台、x轴微动电移台、直角支架、电极夹具、砂纸、柔性支架、支架座、滑轨、位移传感器、应变传感器等;微细电极固定在电极夹具上,通过z轴高速/微动电移台和位移传感器实现微细电极磨削的自动对刀,电极与砂纸接触后,利用柔性支架克服重力后的弹性张力提供电极的磨削力,通过x轴微动电移台控制电极在砂纸上沿x轴方向往复运动实现微细电极端平面的微量、高精度自动磨削加工;通过应变传感器实时检测柔性支架应变量进而控制磨削力大小并实现电极磨削量的自动补偿。本发明解决了电化学腐蚀或在线磨削微细电极端面难以二次加工的难题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110510940.5 | 专利名称: | 一种微细电极端面自动磨平装置及方法 |
申请日: | 2021-05-11 | 申请/专利权人 | 燕山大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 河北省秦皇岛市海港区河北大街438号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B7/16搜分类 电子元器件 微 微生物采样 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2022-07-29 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113146389B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |