发明专利已授权

一种变焦曝光方法

📄 申请号：CN201810902950.1 📄 发布日：2026/06/08

著录项目信息

申请日

2018-08-09

公开号

CN108919613B

公开日

2020-09-04

申请人

锐捷光电科技(江苏)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

图像处理图像处理自动曝光控制变焦控制

应用场景

智能手机, 数码相机, 安防监控, 视频拍摄, 智能终端

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摘要

本发明公开了一种变焦曝光方法，包括以下步骤：步骤1、将涂布完成光阻后的蓝宝石晶圆放置曝光机待曝，使2次曝光时晶圆固定在相同位置，避免位移时2次曝光位置不同造成图形失焦；步骤2、进行2次曝光前，确认曝光机单次曝光时适用的能量时间、可用之焦距景深范围、适用曝光能量与中心焦距；步骤3、确认适用曝光能量及中心焦距后可开始进行2次曝光变焦，首先进行首次曝光；步骤4、完成首次曝光后，进行第2次变焦曝光；步骤5、完成变焦曝光后，退出蓝宝石晶圆；本发明在曝光机进行曝光时，于可用的景深范围内进行2次变焦曝光，能够明显提升后段蚀刻效率，值得大力推广。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200904

✅ 授权

20190115

?? 实质审查的生效：

20181130

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：28 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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