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| 专利/申请号： | CN201810902950.1 | 专利名称： | 一种变焦曝光方法 |
| 申请日： | 2018-08-09 | 申请/专利权人 | 锐捷光电科技(江苏)有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/20 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-09-04 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN108919613B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 7 | 所属领域： | 光学成像技术 图像处理技术专利转让搜索 |
应用场景：安防监控中的动态目标追踪;无人机航拍的多尺度场景适配;智能手机相机的自适应变焦优化
摘 要：本发明公开了一种变焦曝光方法，包括以下步骤：步骤1、将涂布完成光阻后的蓝宝石晶圆放置曝光机待曝，使2次曝光时晶圆固定在相同位置，避免位移时2次曝光位置不同造成图形失焦；步骤2、进行2次曝光前，确认曝光机单次曝光时适用的能量时间、可用之焦距景深范围、适用曝光能量与中心焦距；步骤3、确认适用曝光能量及中心焦距后可开始进行2次曝光变焦，首先进行首次曝光；步骤4、完成首次曝光后，进行第2次变焦曝光；步骤5、完成变焦曝光后，退出蓝宝石晶圆；本发明在曝光机进行曝光时，于可用的景深范围内进行2次变焦曝光，能够明显提升后段蚀刻效率，值得大力推广。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/09/04 | 授权 | |
| 2019/01/15 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G03F 7/20 专利申请号: 201810902950.1 申请日: 2018.08.09 |
| 2018/11/30 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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