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摘 要:本申请提供一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质,采集光掩膜基板的甩胶温度时序数据,对甩胶温度时序数据进行差错删除和缺失填补后,得到完备甩胶温度时序数据,将完备甩胶温度时序数据矩阵化得到甩胶温度数据矩阵;根据甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵,进而确定初始甩胶温度特征矩阵;根据初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子,进而确定甩胶温度特征矩阵;根据甩胶温度特征矩阵和完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据,通过低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数确定感光胶温度预测值;通过感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间的比较结果对感光胶温度进行控制,以解决感光胶温度预测精度低的技术问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202311673338.9 | 专利名称: | 一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质 |
申请日: | 2023-12-07 | 申请/专利权人 | 深圳市精石光掩膜技术有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区蚝业路20号20-1厂房303 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G05D23/20搜分类 涂胶 点胶机搜索 |
公开/公告日: | 2024-01-12 | 转让价格: | 16900.0元 |
公开/公告号: | CN117389356A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/09/27 | 授权 | |
2024/01/12 | 公开 |