发明专利已授权

一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法

📄 申请号：CN201810204154.0 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2018-03-13

公开号

CN108195494B

公开日

2023-08-22

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_24

IPC 分类号

G01L1_24 , G01L11_02 ,

技术画像

所属领域

压力检测压力传感器压力检测

应用场景

工业压力检测, 环境监测, 医疗设备, 可穿戴设备, 智能制造

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摘要

本发明公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法，所述光学压力传感器主要构成为：刻蚀有脊形波导阵列的基底，在其表面溅射一层金属膜，外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap‑SPP。压力使基底发生形变，进而使阵列之间gap的大小改变，进而引起SPP波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器，本发明对光纤距离敏感膜的距离不敏感，因此可以减少温度的影响，同时易于加工制造。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230822

✅ 授权

20180717

?? 实质审查的生效：

20180622

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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