发明专利已授权

一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法

Name: 一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器及其制造方法
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2017106648168
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710664816.8 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2017-08-07

公开号

CN107300437B

公开日

2023-05-09

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L1_24

IPC 分类号

G01L1_24

技术画像

所属领域

压力传感器压力传感器

应用场景

工业压力测量, 油气井压力监测, 医疗血压监测, 航空航天环境监测, 结构健康监测

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摘要

本发明涉及一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器和一种基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的制造方法，属于光纤压力传感器技术领域。包括单模光纤、压力敏感膜；所述单模光纤上端固定连接所述压力敏感膜下端，所述单模光纤、所述压力敏感膜连接处开设空气法布里‑珀罗腔。本发明中材质均为二氧化硅，使得本发明热膨胀系数相同，避免了不同材料高温失配造成的结构失效，温度串扰小，成本低廉；传感头制作工艺只需要熔接、切割和研磨，制作工艺简单；本装置中的共焦法布里‑珀罗腔与现有技术中腐蚀工艺或飞秒激光器制作的法布里‑珀罗腔相比，干涉腔损耗小，干涉条纹对比度高，解调精度高。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种多频多波束MIMO天线

当前第 / 件

一种平面结构圆极化与线极化微波双向转换器

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