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发明专利
已授权
一种缸筒独立供气的双作用气浮无摩擦气缸
📄 申请号:CN201810213536.X
📄 发布日:2026/07/10
著录项目信息
申请日
2018-03-15
公开号
CN108302085B
公开日
2023-09-22
申请人
江苏大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
F15B15_14
IPC 分类号
F15B15_14
,
F15B15_20
,
技术画像
所属领域
气动执行器
气动执行器
气浮技术
精密运动控制
应用场景
工业自动化, 精密定位, 气浮导轨, 测量设备, 半导体制造
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摘要
本发明提供了一种缸筒独立供气的双作用气浮无摩擦气缸,主要由活塞、活塞杆、缸筒组成,气缸外部设有位移传感器、控制器和放大器,在缸筒的周向、轴向上均匀分布着一定数量的节流孔,活塞杆前端通过空气轴承支撑在气缸前端盖,活塞与缸筒之间有一定间隙,通过控制对缸筒上活塞区域的节流孔供气使活塞圆周面上产生承载气膜,气膜流经活塞泄压孔后再由中空的活塞杆排至大气,这样,活塞组件依据气浮原理实现了无摩擦运动;另外,空气轴承两端设有向心关节轴承和密封圈,减小了因活塞与活塞杆偏心而导致运动组件卡死的可能。本发明通过缸筒的独立供气和活塞杆的自排气,保证承载气膜不受两腔气压影响,扩大了无摩擦气缸的应用范围。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20230922
✅ 授权
20180814
?? 实质审查的生效 :
20180720
📄 公开
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