发明专利 已授权

一种大角度弯曲全晶体波导结构的制备方法

📄 申请号:CN201811539985.X 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-12-17
公开号
CN109375312A
公开日
2019-02-22
申请人
聊城大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光通信, 集成光电子, 光互连, 光学传感

摘要

本发明提供一种基于全晶体波导的大角度弯曲波导结构的制备方法,属于集成光子学器件制备技术领域,采用精密金刚石刀切割的技术制备波导弯曲结构,具体为①制备两条互相交叠的波导,分别作为入射波导及出射波导;②采用精密金刚石刀切割的方法,在两波导交叠区域进行定位、切割,以形成全反镜结构。其特点及优势主要包括:1.目前唯一可行的全晶体波导大角度弯曲的实现方法;2.制备方法简单,仅需在常规波导制备工艺的基础上增加一次切割工艺;3.损耗小;4.结构紧凑,易于集成;5.适用材料范围广,易于推广。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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