发明专利已授权

一种多样品快速更换型扫描探针显微镜

📄 申请号：CN202010341820.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-04-27

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q60_00

IPC 分类号

G01Q60_00 , G01Q30_02 ,

技术画像

所属领域

显微镜精密测量仪器扫描探针显微技术自动样品台控制显微镜

应用场景

材料表面形貌分析, 纳米材料表征, 半导体器件检测, 科研实验, 工业无损检测

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摘要

本发明公开了一种多样品快速更换型扫描探针显微镜，包括样品台、探针，XY限位装置、质量块、扫描管、压电管，所述样品台与探针两者之一安装于质量块，另一者安装于扫描管自由端，初始状态时探针正对着样品台中间位置；所述质量块设于XY限位装置内，质量块安装在压电管顶端，对压电管施加尖峰信号，通过控制压电管甩动来带动质量块在XY限位装置内XY方向上的移动；扫描管与压电管两者之一连接驱动机构，另一者连接基座。本发明通过二维方向移动质量块，使得样品台四个角和中心的样品都能精确处于扫描管正下方，能够实现多种样品的依次扫描与快速切换。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241227

?? 专利权的转移：

20220308

✅ 授权

20200901

?? 实质审查的生效：

20200807

📄 公开

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