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发明专利
已授权
一种应用于扫描探针显微镜的传感器
📄 申请号：CN201810293827.4
📄 发布日：2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-03-30
公开号
CN108761138B
公开日
2020-12-01
申请人
三明学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01Q60_00
IPC 分类号
G01Q60_00
技术画像
所属领域
传感器技术
传感器技术
扫描探针显微镜
精密测量技术
应用场景
纳米表面形貌分析, 材料科学研究, 半导体检测, 生物样品成像, 表面科学实验
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摘要
本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第一石英晶振的第一叉脚和第一石英晶振的第二叉脚上下相对配置，第二石英晶振的第一叉脚和第二石英晶振的第二叉脚左右相对配置；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有两个维度原位激发/检测功能。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
APTS改性二氧化硅填充PIM-1复合膜及制备方法、分离纯化正丁醇方法
当前第 / 件
一种应用于扫描探针显微镜的传感器
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