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本发明公开了干冰冲击辅助全反射激光与射流电解加工变截面孔的工具及方法，涉及特种加工领域，工具包括中空环形玻璃管、金属层和绝缘涂层；所述中空环形玻璃管外侧壁电铸有金属层，沿轴向方向上，所述金属层外侧壁上除若干环形区域无绝缘涂层外其它区域均涂覆有绝缘涂层，环形区域对工具电极端部加工后的孔进行二次电解以实现扩孔和抛光。加工方法为中空环形玻璃管的内外管之间激光束通过电解液的全反射传导形成环形激光束来提高加工效率的同时改善加工表面平整性，激光光束经内外管壁面的多次全反射到达工件上的加工区域；从中空环形玻璃管内管喷射干冰微颗粒到加工区域以促进加工区扰动和快速冷却。本发明可以实现变截面孔的一次性成型加工。

本发明公开了干冰约束液体传光实现带热障涂层异形深小孔一体化加工方法，涉及特种加工技术中复合加工领域，包括异形孔加工阶段和深小孔加工阶段；其中，激光束经中空管电极内管全反射得到多个激光束，电解液流经中空管电极；中空管电极接脉冲电源负极，金属基体接脉冲电源正极；在异形孔的加工基础上加工深小孔；异形孔加工阶段：以激光加工为主、水射流为辅去除材料；深小孔加工阶段：激光、电解和水射流共同作用去除材料。本发明方法通过干冰流体压缩射流电解液水柱直径，显著的提高了激光铣削加工异形孔的分辨率并冷却加工表面避免发生材料分层，采用一种加工工具在同一工位实现异形孔和深小孔的一体化加工。

本发明公开了一种基于柔性PI膜导电特性激光定域调控的电解加工方法及装置，涉及特种加工技术领域，通过激光辐照在PI膜上定域生成石墨烯区域，将带有石墨烯区域的PI膜贴附在阴极金属板上；将待加工材料设置在阴极金属板上方；待加工材料与阴极金属板分别接直流脉冲电源的正极与负极，向待加工材料与阴极金属板之间的间隙内射流电解液从而实现电化学加工，待加工材料减材仅在下表面对应石墨烯区域发生。本发明可以实现电场的定向屏蔽与通过，从而在阳极工件实现指定区域实现电解减材，同时，利用PI膜具柔性特性，实现不同加工结果要求的同时在非平面结构上实现电解加工。

本发明公开了一种磨粒辅助激光电解自耦合协同对位打孔方法及系统，涉及特种加工领域，利用短脉冲激光“点扫”在半导体材料上表面指定位置处实现刻蚀，并利用激光在溶液中的空化作用驱动磨粒对加工表面冲击划擦，提高加工表面质量；同时激光辐照在材料内诱导产生出局域电导率增强区域，形成电流优先通过的瞬时定域导电通道；在半导体材料背面利用阴极针管电解加工激光扫描位置，带有磨粒的电解液以一定压力从阴极针管内射出，利用磨粒冲击作用破坏半导体材料下表面钝化层使得电解反应在局域电导率增强区域持续高效进行，从而在半导体材料上表面和下表面上形成位置对应的微孔对。本发明可获得表面质量好、上下位置严格对应的微孔结构。

本发明公开了一种线锯绕制电极电解‑机械微细切割加工方法，属于特种加工技术领域。该方法利用两股截面为圆形的电镀金刚石线锯相互扭绞在一起制作成电极；该电极利用其凹凸结构以及高速自旋特性能有效地改善间隙内流场状态，使新的电化学反应离子及时补充到加工区；利用电镀金刚石线锯刮除电解产物和电解作用产生的钝化膜，能够大幅提高加工质量、加工效率；利用绞合线形成的很多凹槽，加工过程中磨损的金刚石颗粒进入凹槽中，这样在凹槽部分储存着很多磨粒，可以提供更多的人造金刚石用于磨削，从而改善了排屑性能，提高了磨削性能、切削效率和切削质量。

本发明公开了一种线锯绕制电极电解‑机械微细切割加工系统，属于特种加工机床领域。该系统采用卧式机床形式，其包括电机、带传动机构、U型机架、线锯绕制电极、电解液循环系统、数控控制系统和电源等，其中带传动机构安装在U型机架上，线锯绕制电极安装在带传动机构中套筒内，电极经带传动机构与带动其作自旋运动的电机连接，且电极与电源相连接。电解液循环系统中的泵使大电解液槽中的电解液经喷嘴喷入加工区域，并流入小电解液槽，再回流到大电解液槽，形成电解液循环。带动工件阳极相对电极作进给或回退的Z轴以及微幅振动机构分别与控制系统连接。该系统成本低、设计巧妙且操作简便、加工质量好，特别适合小尺寸工件的加工。

一种电解穿孔与扩孔复合加工细长孔的工具和方法，其特征是所述的工具包括中空扩孔钻、工具电极、绝缘套、导电环和导线；采用本发明工具加工细长孔时，将工件和工具电极分别和直流电源正负极连接；随着工具电极前端不断向工件进给，工件按工具电极前端的型面溶解，在工件形成了一定深度的孔，为后续扩孔加工提供了定位和导向；当深度达到中空扩孔钻头扩孔的位置时，中空扩孔钻头进行扩孔加工；随着工具电极不断地进给，电解穿孔与机械扩孔同步进行，从而实现细长孔的加工。本发明所述电解穿孔与扩孔复合加工细长孔的工具和方法，具有加工精度高、表面质量好、结构简单、实用性强等优点。