发明专利已授权

一种线锯绕制电极电解-机械微细切割加工方法

Name: 一种线锯绕制电极电解-机械微细切割加工方法
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2015100077417
Availability: InStock

📄 申请号：CN201510007741.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-01-07

公开号

CN104625267B

公开日

2016-11-16

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23H5_06

IPC 分类号

B23H5_06

技术画像

所属领域

切割加工特种加工电解加工微细切割切割加工

应用场景

半导体晶圆切割, 硬脆材料加工, 精密零部件制造, 微电子器件制造

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摘要

本发明公开了一种线锯绕制电极电解‑机械微细切割加工方法，属于特种加工技术领域。该方法利用两股截面为圆形的电镀金刚石线锯相互扭绞在一起制作成电极；该电极利用其凹凸结构以及高速自旋特性能有效地改善间隙内流场状态，使新的电化学反应离子及时补充到加工区；利用电镀金刚石线锯刮除电解产物和电解作用产生的钝化膜，能够大幅提高加工质量、加工效率；利用绞合线形成的很多凹槽，加工过程中磨损的金刚石颗粒进入凹槽中，这样在凹槽部分储存着很多磨粒，可以提供更多的人造金刚石用于磨削，从而改善了排屑性能，提高了磨削性能、切削效率和切削质量。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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