发明专利 已授权

一种线锯绕制电极电解-机械微细切割加工系统

📄 申请号:CN201510007389.7 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2015-01-07
公开号
CN104625266B
公开日
2016-11-23
申请人
安徽工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体晶圆切割, 硬脆材料加工, 精密微细制造, 光伏硅片切割, 工程陶瓷切割

摘要

本发明公开了一种线锯绕制电极电解‑机械微细切割加工系统,属于特种加工机床领域。该系统采用卧式机床形式,其包括电机、带传动机构、U型机架、线锯绕制电极、电解液循环系统、数控控制系统和电源等,其中带传动机构安装在U型机架上,线锯绕制电极安装在带传动机构中套筒内,电极经带传动机构与带动其作自旋运动的电机连接,且电极与电源相连接。电解液循环系统中的泵使大电解液槽中的电解液经喷嘴喷入加工区域,并流入小电解液槽,再回流到大电解液槽,形成电解液循环。带动工件阳极相对电极作进给或回退的Z轴以及微幅振动机构分别与控制系统连接。该系统成本低、设计巧妙且操作简便、加工质量好,特别适合小尺寸工件的加工。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

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