本发明公开了一种纳米金刚石片竖立组装的高迁移率n型薄膜及其制备方法，石墨烯/纳米金刚石复合竖立片层由热丝化学气相沉积法制备，再利用微波等离子体处理获得具有密堆积结构的片层，呈高迁移率n型电导。
📄 2023102039236
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2023-03-06
本发明公开了一种高迁移率n型超薄纳米金刚石薄膜及其制备方法：采用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)，在通过物理气相沉积(PVD)了过渡层的硅衬底上制备超薄纳米金刚石薄膜，过渡层的厚度为50‑100nm。以丙酮作为碳源，采用氢气鼓泡方式将碳源带入反应室腔体，生长时间约10‑30分钟，制备得到厚度200‑300nm的超薄纳米金刚石薄膜。对超薄纳米金刚石薄膜注入施主杂质离子，注入后的样品再进行低真空氧化退火，即得到所述具有新颖微结构的高迁移率n型超薄纳米金刚石薄膜。该结果对于实现金刚石薄膜在半导体器件、光电子领域、场发射显示器等领域的应用具有十分重要的意义和价值。
📄 201810246649X
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2018-03-23
本发明公开了一种纳米金刚石/石墨烯复合竖立片层薄膜电极及其制备方法。通过热丝化学气相沉积系统和微波等离子体气相沉积系统，有效地调控了薄膜表面的石墨和金刚石相对含量，制备了具备超级电容器特征的纳米金刚石/石墨烯复合竖立片层薄膜电极。
📄 2023102039185
📂 H01G11_86
👤 浙江工业大学
📅 2023-03-06
本发明公开了一种高电化学活性的纳米金刚石/石墨复合薄膜电极的制备方法，首先通过热丝化学气相沉积制备纳米金刚石/石墨复合薄膜电极，再采用原子层沉积设备在复合薄膜电极表面沉积铂金属原子，然后将复合薄膜电极放置于H2SO4溶液中并连接电化学工作站进行循环伏安法处理，最终得到目标电极；该方法可以显著提升纳米金刚石/石墨复合薄膜电极的电化学活性面积，为新型纳米金刚石基复合薄膜电极的设计和制备提供了新的思路和方案，在电催化、电储能等领域具有极大的应用前景。
📄 2025101963989
📂 C25B11_054
👤 浙江工业大学
📅 2025-02-21
本发明提供了一种硫离子注入纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜，本发明利用热丝化学气相沉积在单晶硅衬底上制备纳米金刚石‑石墨烯复合薄膜，对制备出的复合薄膜进行硫离子注入，并对注入后的复合薄膜进行真空退火处理，即得到SNCD‑G复合薄膜，该复合薄膜具有优异的电化学活性、极低的背景电流和较宽的电势窗口，十分有利于应用在高精度的痕量检测领域。
📄 2019113520149
📂 C23C16_26
👤 浙江工业大学
📅 2019-12-25
本发明公开一种基于石墨烯竖立片层制备纳米金刚石的方法，本发明利用热丝化学气相沉积系统生长含有钽原子的石墨烯竖立片层，在较低的压力条件下使石墨烯竖立片层转变为纳米金刚石，具有条件温和、成本低廉的特点；该方法对设备要求较低、工艺简单、易于操作；对发展新型的纳米金刚石制备方法具有重要的科学意义和价值。
📄 2023106398007
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2023-05-31
本实用新型公开了一种纳米金刚石模具表面清洗设备，包括：清洗箱，清洗箱内安装有胶轮组件，胶轮组件适于盛放模具并带动模具作回转运动；清洗件，清洗件活动安装于清洗箱的侧部且其上设置有清洗体，清洗体适于清洗模具的腔和外表面。利用胶轮组件的包胶轮与模具之间的摩擦力带动模具在清洗箱内作回转运动，利用驱动电机带动丝杠转动，进而将滑块沿清洗箱的侧部往复移动，清洗件则为往复运动，将清洗体对模具的内腔和端面以及表面进行全面的清洗处理，解决现有模具清洗无法做到内腔和表面同时清洗的问题。
📄 2023236102055
📂 B21C35_06
👤 山东坤伦纳米科技有限公司
📅 2023-12-28
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