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  • 专利名称:腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备      申请号:202022305349X     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:半导体 半导体加工设备   相似专利 发布日:2025/03/06  
    摘要: 一种腔室阀件安全锁定装置及半导体加工设备,涉及半导体制造技术领域。该腔室阀件安全锁定装置,应用于半导体加工设备,包括安全装置阀件,安全装置阀件包括气动安全阀和锁止件,气动安全阀被配置于半导体加工设备的空气气源与半导体加工设备的气动阀件之间,且气动阀件连接与半导体加工设备的工艺气源与半导体加工设备的反应室之间,锁止件用于锁止或者解锁气动安全阀,以使工艺气源与反应室连通或断开。该腔室阀件安全锁定装置能够解决气动阀件误动作导致的反应室工艺气体外泄,从而提高作业安全性。
  • 专利名称:机械手臂及半导体加工设备      申请号:2020225258352     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:机械臂 半导体加工设备   相似专利 发布日:2025/03/06  
    摘要: 一种机械手臂及半导体加工设备,涉及机械手辅助加工技术领域。该机械手臂包括降温组件、固定座以及手臂本体,手臂本体转动连接于固定座上,手臂本体上包括有承载部,降温组件设于承载部上,用于对放置于承载部上的工件降温。该机械手臂能够便于转移高温工件。
  • 专利名称:一种半导体加工设备用承载装置      申请号:202222189664X     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:半导体 半导体加工设备   相似专利 发布日:2024/12/05  
    摘要: 本实用新型公开了一种半导体加工设备用承载装置,包括底板,所述底板上开设有废料口,所述底板上固定连接有支撑板,所述支撑板上固定连接有固定板,所述固定板上固定连接有限位块,所述限位块上接触有收集盒,所述收集盒分别与固定板及底板接触,所述底板上设置有安装机构,所述固定板收集盒上设置有抽吸机构。本实用新型通过设计螺杆与螺套的螺纹连接,通过转动转盘带动螺杆转动,可使螺套带动夹块水平移动,通过将夹块与设备进行接触,可对设备进行夹持定位,且夹块可对设备的四面进行定位,定位效果更好。
  • 专利名称: 一种碳化硅半导体加工设备       申请号:2022230441287     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:实用新型   关键词:半导体 半导体加工 硅 港口 半导体加工设备   相似专利 发布日:2023/04/11  
    摘要: 本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为一种碳化硅半导体加工设备,包括粉碎结构,所述粉碎结构的顶部设有拨料结构,所述粉碎结构的底部设有冲洗结构,所述拨料结构包括两个旋转电机,所述旋转电机的输出端固定连接有拉簧,一个所述旋转电机的输出杆的另一端固定连接有凸轮,且外壁活动连接有固定环,所述凸轮一侧的底部活动连接有转轴,所述转轴的顶部固定连接有钢丝绳,所述钢丝绳的中部贯穿有连块,所述连块内活动连接有两个转轮,所述钢丝绳的另一端固定连接有连接块,通过设有拨料结构,能够有效地对其橡胶挡板上所搁置的物料进行清理,使其装置能够更好的对其物料进行碾磨,同时拨料结构采用与粉碎结构相同的动力源进行驱动。
  • 专利名称:一种二极管单向性激光喷码新工艺标注设备      申请号:202110044639X     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:半导体加工设备 激光加工设备 二极管标记 二极管加工 电子器件 电子元件标记 工业设备   相似专利 发布日:2025/04/17  
    摘要: 本发明公开了一种二极管单向性激光喷码新工艺标注设备,包括机壳,所述机壳内设有放料腔,所述放料腔下端壁内设有喷码腔,所述机壳内设有检测腔,所述检测腔右端壁内设有出料腔,所述检测腔前端壁内设有驱动腔,所述检测腔后端壁内设有从动腔,所述检测腔左端壁内设有传动腔,所述机壳内设有驱动腔,所述喷码腔前后端壁内设有两个激光腔,所述检测腔内设有的检测块,所述检测块内设有接触导电块,所述接触导电块能够与二极管进行电力连通,从而对二极管的单向性进行检测,所述激光腔内设有启动器,所述启动器固定连接有连接杆,所述连接杆上固定连接有固定块和激光器,所述激光器能够对二极管进行激光喷码。
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