本发明公开了一种4H‑SiC沟槽型绝缘栅双极型晶体管,包括依次层叠设置的P型集电极区,N型漂移区,N型的电流增强层,P型基体区,P型体接触区,N型发射区、发射极金属和集电极金属;还包括第一沟槽与第二沟槽,所述第一沟槽与第二沟槽自器件的上表面穿透P型基体区终止在N型漂移区内;所述第一沟槽内填充第一氧化层和第一多晶硅,所述第二沟槽内的第二多晶硅底部被重掺杂的P型区与N型漂移区隔开,侧面被第二氧化层与P型体接触区、P型基体区及N型漂移区隔开;所述的重掺杂屏蔽区通过第二多晶硅与发射极连接。本发明减小了4H‑SiC沟槽IGBT的栅氧底部拐角的电场强度,达到降低器件的正向导通压降以减小器件损耗的目的。
📄 2016103352660
📂 H01L29_417
👤 杭州电子科技大学
📅 2016-05-19
超高速大电流纵向绝缘栅双极型晶体管,涉及功率半导体器件。本发明包括集电极、缓冲区、漂移区、欧姆接触重掺杂区、沟道区、发射区、绝缘介质层、主栅极,其特征在于,晶体管中部设置有电场加强单元,用于产生一个由集电极指向电场加强单元的电场,所述电场加强单元通过绝缘介质与晶体管其他部分隔离。本发明能够增大器件通态电流密度,也能加强漂移区内的电场调制效应,降低器件的漂移区电阻,降低通态压降;同时,该电场在器件要关断时还能够加速漂移区内过剩载流子的移除,大幅度缩短器件的关断时间,抑制拖尾电流现象。
📄 2019108704443
📂 H01L29_739
👤 电子科技大学
📅 2019-09-16
本发明涉及一种异质结注入的沟槽型GaN绝缘栅双极型晶体管,属于功率半导体器件领域。该晶体管呈左右对称结构,左半边结构包括P+集电极、N‑漂移区、P‑沟道区、N+发射极衬底、绝缘介质层、栅极金属接触区、集电极金属接触区、发射极金属接触区Ⅰ、发射极金属接触区Ⅱ和Al组分渐变区。本发明基于N+型GaN衬底材料上,采用从上至下为P/N/P/N的沟槽型IGBT垂直器件结构,通过较低掺杂的P+AlGaN集电极层就可以实现P+AlGaN/GaN较高的空穴注入比,同时,还在P+AlGaN/GaN异质结界面处引入x渐变的AlxGa1‑xN渐变层,以减少器件导通压降,提高器件输出电流。
📄 2021109149327
📂 H01L29_20
👤 重庆邮电大学
📅 2021-08-10