发明专利已授权

一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜

📄 申请号：CN202110852470.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-07-27

公开号

CN113534449A

公开日

2021-10-22

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B26_10

IPC 分类号

G02B26_10 , G02B26_08 ,

技术画像

所属领域

微机电系统（MEMS）微机电系统（MEMS）电磁驱动机构微镜结构

应用场景

激光投影, 光通信, 激光雷达, 光学扫描, 微型显示

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜，属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将微镜板悬置连接在固定边框内侧，微镜板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度，提升扫描微镜的机械扫描性能，还能起到缓冲作用，提高了器件的抗振动和抗冲击能力，从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描微镜。可以与微镜板的厚度相同，这不仅减小了器件的加工时间和加工难度，提高加工效率，同样有助于提高器件的结构可靠性。微镜板背面掏槽以减重，提高器件在环境振动中的稳定性，减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、微镜板与弯折梁集成在一起，工艺简单。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一株撕裂蜡孔菌的促生作用及其应用

当前第 / 件

一种高效丝素重链启动子分泌表达系统的建立与应用

同领域国内专利 · IPC: (G02B26_10)

G02B26_00 G02B26_02 G02B26_04 G02B26_06 G02B26_08 G02B26_10 G02B26_12 覆盖7个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)